ULVAC 大気圧ピラニ真空計

【特長】●耐衝撃性に富んだ設計構造の測定子です。
●気体の熱伝導を利用した定温度型ピラニ真空計です。
●大気圧から低真空領域（０．０５〜１０００００Ｐａ）の測定が可能です。
●フィラメントには耐久性に富んだ白金を採用しています。
●センサーユニットと測定子の一体化により省配線、省スペース、省電力が可能です。
●JCSS校正も可能です。
【用途】●太陽電池・FPD・半導体・電子部品をはじめとする各種製造装置の低真空測定に。
●真空炉をはじめとする各種産業機器の低真空測定に。
●大気圧からの広帯域の真空測定に。
【注意】●本製品を日本国外へ輸出する場合は、ご一報いただくと共に外国為替及び外国貿易管理法等、輸出管理の規定に従って手続きが必ず必要になります。