ULVAC 直結型油回転真空ポンプ

【特長】●ゲーデ型真空ポンプで、真空ポンプ油により回転部の潤滑と真空封止をしていますので、高真空が安定して得られます。
●モーター直結型であることからベルト方式に比べ、高速回転により小型で大きな排気速度が得られます。
【用途】●理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。
●真空排気装置、電子顕微鏡のバック。
●半導体製造装置。
●真空蒸着装置、凍結乾燥器。
●医療用機器全般。
【注意】●油の汚れ、減少を定期的にチェックしてください。
●停止時には真空側に油の逆流が発生します。必ずポンプ内を大気圧に戻してください。
●大気圧近くでの連続運転には不適当です。