ULVAC ダイアフラム型ドライ真空ポンプ

【特長】●ゴムの薄膜（ダイアフラム）の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。
●接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。
●シンプル構造でメンテナンスも容易です。
【用途】●吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。
●分析機器、理化学機器。
●半導体検査装置。
●デバイス組立。
●自動機、包装機。
【注意】●「DA-121D」「DA-241S」には、バランスポートが装備されています。これは、ポンプ室の1段側と2段側の圧力を均衡させ、真空起動を可能にするシステムです。
●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取除く必要があります。