ULVAC 直結型油回転真空ポンプ(ケミカルタイプ)

【特長】●接ガス部面に表面処理を施したケミカル型の真空ポンプです。
●化学工業、半導体業界などで使用する特殊なガス、溶剤を扱う真空引きに最適な、耐久性を増したポンプです。
【用途】●濃縮機などの化学機器。
●半導体製造装置。
●製薬機械。
●薬品処理後の乾燥。
●真空乾燥機、連結乾燥機
【注意】●真空ポンプ油は合成油(SO-M)をご使用ください。
●特殊ガス、溶液などを吸引されるときは事前にご相談ください。
●大気圧近くでの連続運転には不適当です。
●腐食性ガスを吸引される場合のオプショナルパーツの選定は材質と耐食性をご確認ください。