ULVAC 直結型油回転真空ポンプ

【特長】●ガスバラストバルブ、強制給油機構、油の逆流防止機構を装備しています。
●ガスバラストバルブにより、吸引する気体中の水分などを除去し、ポンプ油中に溶解することを防ぎます。
●Gシリーズの性能をさらに追求し、静音性、安全性、機能性を高めた上級機種です。
●マルチレンジユニバーサルモータを搭載し、世界中どこの電圧でも対応できます。
●CEマーキング自己宣言品、TUV、cTUVus認証取得品となります。
【用途】●理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。
●真空排気装置、電子顕微鏡のバック。
●半導体製造装置、スパッタ装置、真空蒸着装置。
●真空乾燥器、凍結乾燥器。
【注意】●高真空領域(10［［の−１乗］］Pa台)の能力がありますので、継ぎ手、容器などは高真空で十分に使用可能なものをお使いください。