ULVAC 直結型油回転真空ポンプ(マグネットカップリングタイプ)

【特長】●小さいサイズながらも、大きな排気速度です。
●装置組込みに適したコンパクトサイズです。
●マグネットカップリング構造により、軸シールからの油漏れが無く、長寿命化を実現しました。
●吸気管直下型逆流防止弁の搭載により、停止時にポンプ内部が自動的に大気開放します。
●電源コード差込口インレットによる、電源コードの多様化へ対応しました。
●強制給油機構の搭載により、排気速度が安定します。
●大気圧からの作動が可能です。
【用途】●理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。
●真空排気装置、電子顕微鏡のバック。
●半導体製造装置、スパッタ装置、真空蒸着装置。
●真空乾燥器、凍結乾燥器。
●リークディテクタ。
【注意】●真空ポンプ油は運転とともに劣化し、性能不足の要因となります。定期的に油の減少や汚れを確認し、補充や交換をしてください。
●排気口からの油煙（オイルミスト）が大気圧付近では特に発生します。
●排気口を塞いだり、排気口側にガスの通過を妨害する機器を付けた状態で、ポンプを運転すると破裂の恐れがあります。ポンプ内圧が上昇して、ポンプ本体が破裂したり、オイルレベルゲージが飛び出したり、モータが過負荷になる恐れがあります。
●このモータの過負荷保護装置は、自動復帰型です。