ULVAC 揺動ピストン型ドライ真空ポンプ

【特長】●接ガス部に油、水などを使用しないドライタイプの真空ポンプです。
●大排気量でコンパクトサイズです。
●大気圧から作動が可能です。
【用途】●自動機などの真空吸着搬送。
●真空包装、印刷機械。
●吸引機。
●チップマウンター。
【注意】●負荷運転時にポンプを停止し、直後に再度運転する場合、再起動しない事があります。この場合はポンプ内部を大気圧に戻してください。
●腐食性ガス･有機溶剤･液体及び凝縮性ガス（水蒸気等）は吸引しないでください。また、ゴミやホコリ等がポンプ内に入らないようにしてください。
●ポンプの摺動材であるカップパッキンは運転により磨耗し、磨耗粉が発生いたします。また、使用している摺動材は水分に弱いため、吸引した場合磨耗が促進され寿命が低下します。水分及び凝縮性ガス（水蒸気等）は吸引しないでください。
●屋内専用のポンプです。雨や水のかかるような場所や屋外には設置しないでください。
●ポンプを装置等に固定される際は、必ず防振ゴムを取り付けてください。防振ゴムの取付けネジサイズはM6×P1.0です。